产品介绍
SFM5300质量流量计具有卓越的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围，尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。
SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。
SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性，并适用于在类似的应用，这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。
产品规格
| 质量流量 | |
满量程流速 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 和100 slm |
精确度 | 0.2%FS or 2% SP |
最大工作压 | 10 bar |
校准 | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 和C4F8 flow |
流体连接器端口 | Downmount |
| 通用 | |
电源电压 | 14 ~ 26.4 V |
平均电源电流 | 50000 uA |
最大供电电流 | 320000 uA |
接口 | RS485 |
封装尺寸 (长x宽x高) | 48 x 25 x 79.5 mm³ |
