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数据记录仪
Sensirion的产品在尺寸、精度和性能上存在优势，可以容易地集成到晶圆载体系统中，从而提高系统的可靠性和性能。
Sensirion如何设计解决方案
| 高精度、低成本 精确控制FOUP内的气体流动可以防止损坏精细结构。还避免了在清洗循环期间使用过量的氮气，从而降低成本。 |
实时参数跟踪 将传感器集成在FOUP内的各个位置可提高其性能并确保相同的存储条件。 | |
利用数据优化流程 进一步改进半导体工艺需要从晶圆厂的各类传感器收集数据，以便实施良率学习和预测模型 |
